Naprašovačka a napařovačka

Naprašovačka QT 150T ES (Quorum Technologies) je modulární přístroj, který umožňuje nanášení tenkých (kovových) vrstev na podložky. K dispozici je pomalejší, ale kvalitnější naprašování v argonové atmosféře, nebo napařování z košíčku či lodičky. Poslední možností je napařování uhlíku z grafitové tyče. Další možností využití je žíhání malých předmětů ve vakuu.

Požadavky na podložky/vzorky

  • maximální laterální velikost vzorku je cca 8 cm (může být větší, pokud se nebude otáčet - to je ale na úkor homogenity tloušťky), výška max. pár cm
  • ideální je rovinný povrch
  • vzorek musí být suchý, (čistý) a vydržet podmínky vakua
  • v případě napařování musí být vzorek tepelně oddolný

Technické parametry a možnosti měření

  • tloušťka vrstvy od 1 nm, měření s rozlišením 0,1 nm
  • max. tloušťka 1 µm (dlouhá doba přípravy)
  • standardní stolek nebo stolek s náklonem (vybavené držáky pro 6 SEM podložek)
  • dostupné materiály pro naprašování: Cu, Al, Au, Cr, Co, Pt, Ti, Ag (terčíky 57 mm)